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SILIZIUMNITRID (Si3N4)
Dieser Werkstoff verfügt über eine bislang unerreichte
Kombination hervorragender Werkstoffeigenschaften:
- extrem hohe Festigkeit
- sehr hohe Zähigkeit
- hervorragende Verschleißfestigkeit
- sehr niedrige Wärmeausdehnung
- hohe Wärmeleitfähigkeit
- ausgezeichnete
Temperaturwechselbeständigkeit
- sehr gute chemische Beständigkeit
Der Sinterprozeß des Siliziumnitrids
muß mit einem hohen mechanischen Druck unter
Schutzgasatmosphäre erfolgen. Je nach Verfahren entsteht so:
- Gesintertes Siliziumnitrid (SSN)
- Gasdruckgesintertes Siliziumnitrid (GPSSN)
- Heißgepreßtes Siliziumnitrid (HPSN)
Reaktionsgebundenes Siliziumnitrid (RBSN) dagegen wird - ausgehend von
Si-Pulver - unter gezielt eingestellter Atmosphäre schwindungsfrei
nitridiert. |
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SILIZIUMALUMINIUMOXINITRID (SIALON)
Sie basieren hauptsächlich auf Verbindungen oder festen
Lösungen im Vier-Komponenten-System Silizium - Aluminium
- Sauerstoff - Stickstoff.
Wegen ihrer höheren Bruchzähigkeit werden daraus
- Schneidwerkzeuge gefertigt. Die geringe
Benetzbarkeit durch NE-Metalle haben SIALON zum Standard bei
- Thermoelementschutzrohren gemacht.
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ALUMINIUMNITRID (ALN)
Ein Werkstoff, der durch seine hohe Wärmeleitfähigkeit
besticht: bis zu 180 Wm-1 K-1 . Darüber hinaus spricht die
Kombination der Werkstoffeigenschaften für sich:
- hohe Wärmeleitfähigkeit
- hohes elektrisches Isolationsvermögen
- thermische Ausdehnung ähnlich Si (‹Al2O3)
- inertes Verhalten gegen Schmelzen der
III-V-Verbindungen
- hohe Steifigkeit
Mit diesen Eigenschaften ist ALN vor allem als
- Substrat für Halbleiterbauelemente und
- Leistungselektronikbausteine geeignet.
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Weitere, ausführlichere Informationen hierzu
im Brevier
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06. Februar 2006
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Nitride